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小ロット生産・離型剤塗布用装置 仕様/性能比較表

Comparison table

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装置名 ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置) ナノインコーター(離型剤塗布装置) ナノインコーター(離型剤塗布装置) ナノインコーター(離型剤塗布装置) ナノインコーター(離型剤塗布装置) ナノインコーター(離型剤塗布装置) ナノインコーター(離型剤塗布装置) タンク入替可能+超音波洗浄槽付 ロール材用ナノインコーター(離型剤塗布装置) 大サイズ用ナノインコーター(離型剤塗布装置) 円筒形基材用ディップコーター 洗浄装置 洗浄装置 媒体塗布装置 コート液循環機構付きディッブコートシステム (循環機構部分離型・耐薬品性考慮) N2パージ仕様 リニアディップコーター 多槽(8槽)式ディップコーター
型式 NIC-1109G NIC-0809 NIC-1103 NIC-1106 NIC-1208 NIC-1410-S1 NIC-1510 NIC-1308 NIC-2003 DT-2002 SA-1202 SA-1109 DT-1104 MD-1501-S1 LD-1811 DT-1812
ストローク 250mm 400mm 250mm 140mm 700mm 138mm 320mm 1300mm 550mm 590mm 350mm 219mm 300mm 100mm Z軸:150mm、X軸:850mm
対象サイズ 152mm×152mm φ200mm 6inch、8inch 4inch 600mm角 W70×H70mm t1.5 φ250 t0.3 全長700mm、重量7kg以下 W1500×H1200mm t10 φ20、φ24、φ30、φ60×220~400mm φ132mm×H:250mm 8inch 1.8、2.5、3.5inchディスク W100×H100mm 複数枚同時処理 W:40×H40mm t4.0 W:150×H:150mm t1.0
対象材質 石英ガラス アルミ ウエハー ウエハー 金属板 ガラス等 ウエハー、金属板 金属、セラミック、樹脂、ガラス等 石英ガラス アルミ・SUS管 石英ガラス、金属 ウエハー、ガラス ディスク&ウエハー ガラス、ウエハー、金属等 アクリル・ガラス・金属 アクリル・ガラス・金属
ディップ速度 0.1mm/secから20mm/sec 1~10mm/sec 0.1mm/secから10mm/sec 0.1mm/secから10mm/sec 1mm/secから50mm/sec 0.1mm/secから30mm/sec 0.1mm/secから60mm/sec 回転数:1~30rpm 0.1mmsecから60mm/sec 0.1mmsecから60mm/sec 0.1mm/secから110mm/sec 0.1mm/secから40mm/sec 1μm/sec~40mm/sec 0.01mm/secから100mm/sec 0.01~60mm/sec ・Z軸0.1~60mm/sec、
・X軸:0.1~60mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ 0.5μm 0.5μm 0.05μm 0.2μm 無(オプション可能) 無(オプション可能) 0.05μm
乾燥部
乾燥温度 Max80℃ 室温 無(オプション可能)
ヘパユニット 無(オプション可能) 無(オプション可能)
装置サイズ(概寸) W:800×D:700×H:871mm W:1869×D:1102×H:1885mm W:904×D:840×H:1070mm W:450×D:670×H:685mm W:2000×D:1200×H:2000mm W:450×D:440×H:1000mm W:1100×D:975×H:1410mm W:1900×D:900×H:1995mm W:2200×D:2000×H:3253mm W:1100×D:650×H:2360mm W:2575×D:1100×H:1984mm W:1850×D:900×H:1880mm W:1404×D:900×H:1940mm W:700×D:550×H:1450mm 本体:W840×D:890×H:1232mm
制御BOX:W700×D400×H495mm
W:1301×D:640×H:836mm

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