ディップコーター専門 製造・販売・メンテナンス

ディップコーター専門 製造・販売・メンテナンス

HOME > 製品情報 > フォトリソコート用ディップコーター SA-2203

フォトリソコート用ディップコーター SA-2203

量産向け・自動装置

 本装置は、複数の4inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。
SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。
主 仕 様
ストローク 330mm
対象サイズ 4inchウエハー
対象材質 ウエハー、金属、ガラス等
ディップ速度 0.1mm/sec〜60mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ
乾燥部
乾燥温度 100℃
ヘパユニット
装置サイズ(概寸) W:1805×D:1101.5×H:1828.5mm

お問い合わせContact Us

製品に関するお問い合わせや資料請求、またその他あらゆるお問い合わせやご意見等、こちらからご送信いただけます。
Copyright (c) SDI Company .,LTD. All Rights Reserved.