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フォトリソコート用ディップコーター SA-1407-S1

量産向け・自動装置

本装置は、複数の3.5inchウエハー、金属板、ガラス等に同時にフォトリソコート液の薄膜ディップコーティングを目的とした、DIP/乾燥の工程を自動的に行うディップコーターです。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を応用したディップコーターです。
主 仕 様
ストローク 290mm
対象サイズ 3.5inchウエハー
対象材質 ウエハー、金属、ガラス等
ディップ速度 0.1mm/secから60mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ
乾燥部
乾燥温度 100℃
ヘパユニット
装置サイズ(概寸) W:1800×D:1100×H:1850mm

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