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媒体塗布装置 DT-1104

小ロット生産・離型剤塗布用

主 仕 様
ストローク219mm
対象サイズ1.8、2.5、3.5inchディスク
対象材質ディスク&ウエハー
ディップ速度1μm/sec〜40mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ0.05μm
乾燥部
乾燥温度
ヘパユニット
装置サイズ(概寸)W:1404×D:900×H:1940mm

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