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ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1109G

小ロット生産・離型剤塗布用

 本装置は、窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との一体型装置です。最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
主 仕 様
ストローク250mm
対象サイズ152mm×152mm
対象材質石英ガラス
ディップ速度0.1mm/secから20mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ0.5μm
乾燥部
乾燥温度
ヘパユニット
装置サイズ(概寸)W:800×D:700×H:871mm

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