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ガス置換BOX一体型ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1109G
小ロット生産・離型剤塗布用
本装置は、窒素とのガス置換機能を備えたBOXとナノインコーター(離型処理装置)との一体型装置です。最大152mm×152mm、t6.0の石英ガラスを超音波洗浄、離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
| 主 仕 様 | |
|---|---|
| ストローク | 250mm |
| 対象サイズ | 152mm×152mm |
| 対象材質 | 石英ガラス |
| ディップ速度 | 0.1mm/secから20mm/sec |
| 塗布液循環部 | 有 |
| 塗布液温度管理 | 無 |
| フィルターメッシュ | 0.5μm |
| 乾燥部 | 無 |
| 乾燥温度 | 無 |
| ヘパユニット | 有 |
| 装置サイズ(概寸) | W:800×D:700×H:871mm |
