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ナノインコーター(離型剤塗布装置) NIC-1103

小ロット生産・離型剤塗布用

本装置は、最大8inchウエハーを離型剤塗布、リンス洗浄、定着乾燥という工程で処理することで、ワーク表面に離型剤を定着させる装置です。処理は1ワークずつ行います。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型装置です。
主 仕 様
ストローク250mm
対象サイズ6inch、8inch
対象材質ウエハー
ディップ速度0.1mm/secから10mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ0.05μm
乾燥部
乾燥温度
ヘパユニット
装置サイズ(概寸)W:904×D:840×H:1070mm

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