Japanease
English
洗浄装置 超音波洗浄槽付き SA-1109
小ロット生産・離型剤塗布用
- 本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。
| 主 仕 様 | |
|---|---|
| ストローク | 350mm |
| 対象サイズ | 8inch |
| 対象材質 | ウエハー、ガラス |
| ディップ速度 | 0.1mm/secから40mm/sec |
| 塗布液循環部 | 有 |
| 塗布液温度管理 | 無 |
| フィルターメッシュ | 無（オプション可能） |
| 乾燥部 | 有 |
| 乾燥温度 | 無（オプション可能） |
| ヘパユニット | 無（オプション可能） |
| 装置サイズ(概寸) | W:1850×D:900×H:1880mm |
