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洗浄装置 超音波洗浄槽付き SA-1109

小ロット生産・離型剤塗布用

主 仕 様
ストローク 350mm
対象サイズ 8inch
対象材質 ウエハー、ガラス
ディップ速度 0.1mm/secから40mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ 無(オプション可能)
乾燥部
乾燥温度 無(オプション可能)
ヘパユニット 無(オプション可能)
装置サイズ(概寸) W:1850×D:900×H:1880mm

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