ディップコーター専門 製造・販売・メンテナンス

ディップコーターとは、

コーティング液に漬けた(ディップした)試料を低速で引き上げる事により、薄膜を形成する仕組みです。
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洗浄装置

洗浄装置 超音波洗浄槽付き SA-1109

本装置は、ハイスペックのクリーン度を要求されるお客様に最適の装置です。Max8inchのウエハー5枚を同時に設定されたレシピパラメータに従い、自動で各工程を処理する為の自動化装置です。SDIが所有するディップコート(ディップコーティング)の技術を反映したディップコーター型洗浄装置です。
主 仕 様
ストローク 350mm
対象サイズ 8inch
対象材質 ウエハー、ガラス
ディップ速度 0.1mm/secから40mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ 無(オプション可能)
乾燥部
乾燥温度 無(オプション可能)
ヘパユニット 無(オプション可能)
装置サイズ(概寸) W:1850×D:900×H:1880mm
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