ディップコーター専門 製造・販売・メンテナンス

ディップコーターとは、

コーティング液に漬けた(ディップした)試料を低速で引き上げる事により、薄膜を形成する仕組みです。
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離型処理装置

ナノインコーター(離型剤塗布装置)タンク入替可能+超音波洗浄槽付 NIC-1510

本装置は、φ250〜φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。
ナノインコーター(離型剤塗布装置)タンク入替可能+超音波洗浄槽付 NIC-1510
主 仕 様
ストローク320mm
対象サイズφ250 t0.3
対象材質ウエハー、金属板
ディップ速度0.1mm/secから60mm/sec
塗布液循環部
塗布液温度管理
フィルターメッシュ
乾燥部
乾燥温度
ヘパユニット
装置サイズ(概寸)W:1100×D:975×H:1410mm
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