コーティング例
配列イメージ
シリカ単層配列 ポリスチレン2層配列
ポリスチレン多層配列
カーボンクロスへの酸化チタンコーティング微細構造のある立体物への塗布
石英モールドに離型剤塗布 L&S400nm
石英モールドに離型剤塗布 L&S350nm
石英モールドに離型剤塗布→リンス実施 L&S350nmポジ型液状レジスト
・露光 100mj・現像 1%Na2CO3,30℃, 30sec, スプレー圧1.5kg
・エッチング 塩鉄、塩銅
シリカ単層配列 ポリスチレン2層配列
ポリスチレン多層配列
カーボンクロスへの酸化チタンコーティング
石英モールドに離型剤塗布 L&S400nm
石英モールドに離型剤塗布 L&S350nm
石英モールドに離型剤塗布→リンス実施 L&S350nm
・露光 100mj