製品詳細

離型処理装置

ナノインコーター(離型剤塗布装置)
NIC-1510

本装置は、φ250〜φ300のウエハーや金属板1枚に最大3種類のコート液を塗布可能な装置です。またそれぞれのタンクは交換が簡易で、多くの異なるコート液を塗布及び評価することに適しています。1槽目に超音波洗浄槽を設置し、洗浄、コート、リンスなどの運転も可能としました。