ナノディップコーターにより作製したオパール膜のSEM像
オパール膜のSEM像 1
S0.5
オパール膜のSEM像 2
S2.5

オパール膜のSEM像 3
オパール膜のSEM像 4
ポジ型液状レジスト
露光現像エッチング　回路パターン形成
  • 露光　100mj
  • 現像　1％Na2CO3,30℃, 30sec,　スプレー圧1.5kg
  • エッチング　塩鉄、塩銅
ポジ型
L／S　10／10(μm)
ポジ型
15／15
ポジ型
20／20

L／S=20／20(μm)
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